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小池 雅人; 今園 孝志; 石野 雅彦
X線分析の進歩,46, p.159 - 166, 2015/03
放射光や軟X線レーザー光等の高輝度光源を利用した先端的な物性研究を推進するうえで18keV領域に現れる軽元素の吸収・発光・蛍光分析に適した高効率軟X線分光器の開発が必要とされている。従来の金の単層膜を積層した回折格子では金のM端(2.2keV)以上では、消衰係数が大きくなるため極端な斜入射で用いる必要があり、実用的な分光器を構成できない難点がありほとんど実用に至っていない。本報告では、単層膜の代わりに軟X線多層膜を積層することでこの壁を破るラミナー型回折格子の開発の現状と、その放射光用分光器への応用の可能性について述べる。